對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2020-10-16在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興） 計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產線購買一批設備
資金到位或資金來源落實情況:現招標人資金已到位
項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件
2、招標內容
招標項目編號:0613-204522154268/01
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產線項目第三十批--低壓多晶硅生長機
項目實施地點:中國浙江省
招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	低壓多晶硅生長機	1	利用SIH4和PH3 共同做一下生成多晶硅薄膜層	/
2	低壓退火設備	1	實現鼓狀晶圓快速退火，修復表面晶格損傷，均勻性好	/
3	硼磷氧化擴散爐	1	實現硼磷氧化擴散，均勻性好	/
4	氮化硅生長機	1	實現氮化硅生長，均勻性好	/
5	非摻雜多晶硅生長機	1	實現非摻雜多晶硅生長，修復表面晶格損傷，均勻性好	/
6	氧化物薄膜生長機	3	設備通過反應生成氧化SIO2薄膜層	/
7	柵氧化薄膜生長機	2	設備通過反應生成氧化SIO2薄膜層	/
8	基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射層設備	1	PEOX/SIN/DRAC Dep	/
9	基于硅烷的氧化物/氮化物設備	1	PEOX/SIN Dep	/
10	基于TEOS的化學氣相沉積	1	TEOS Dep	/
11	次常壓化學氣相沉積	1	SACVD Dep	/
12	次常壓化學氣相沉積	1	SACVD Dep	/
13	離子束去平機	1	金屬膜離子束去平	/
14咨詢電話18811547188	高真空離子鍍膜金屬濺射機	1	AIN & Mo metal Dep	/
15	物理氣象沉積機	1	物理氣象沉積/metal Dep	/
16	光刻膠烘烤設備	1	實現光刻膠烘烤	/
17	光刻顯影設備	1	實現光刻顯影	/
18	光刻涂布設備	1	實現光刻涂布	/

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:1）具有獨立的法人資格，相應的經營范圍。投標方應具有正規注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內應有專門負責的經驗豐富的維修工程師和專門的技術應用支持工程師。 2）投標人提供的設備需要在業界有安裝使用的經驗 。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2020-10-16
招標文件領購結束時間:2020-10-23
是否在線售賣標書:否

7、聯系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）
未曾在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com

備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

編輯：chinabidding.co