招標公告

1. 招標條件

本招標項目介質(zhì)層淀積設備（SIH4+TEOS） 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對介質(zhì)層淀積設備（SIH4+TEOS）進行國內(nèi)公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20240429A025

2.2 招標項目名稱：介質(zhì)層淀積設備（SIH4+TEOS）。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：該設備為國產(chǎn)全新8寸SIH4+TEOS混源的介質(zhì)淀積設備，自帶SMIF（或同類裝置），RFID及EAP通訊功能，配置三個PECVD TWIN Chamber（2個SIH4腔，1個TEOS腔，所有腔室均配置LH+HF組件），擁有PEOX工藝、SRO工藝、SIN工藝、SRN工藝、SION工藝、FSG工藝和USG工藝等功能，每個Chamber擁有In-situ N2 plasma處理功能。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后150天。

3. 投標人資格要求

3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2業(yè)績要求：投標人提供本次投標同型號或同系列的設備從2020年至今的任意一年的銷售業(yè)績，且一年中累計銷售量至少10臺；須提供設備采購合同復印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁及簽字或蓋章頁（合同供貨方可以是本次投標人也可以是本次所投設備制造商）、合同簽訂時間、合同標的物及其型號。

3.3 其它要求：本次招標接受代理商投標。投標人若為代理商，則須提供所投產(chǎn)品制造商的授權(quán)書。

3.4本次招標不接受聯(lián)合體投標。

3.5投標人必須向招標代理機構(gòu)

4.

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來源：中國電力招標采購網(wǎng)
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編輯：365trade